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耐磨复合板的热处理工艺对组织结构影响:随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400~450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。

  NM400耐磨板在500一650℃进行.得到回火索氏体组织,具有较高的强度和韧性相配合的综合力学性能。生产中把淬火后再进行高温回火的处理称为调质处理。调质处理主要用于各种重要的结构零件,使耐磨板的强度、塑性、韧性达到恰当的配合,具有良好的综合力学性能。特别是在交变载荷下工作的连杆、螺栓、螺母、曲轴和齿轮等零件。调质处理还可作为某些精密零件,如丝杠、量具、模具等的预备热处理,以减少终处理过程中的变形。调质钢调质处理后的硬度为25一35HRC。

  NM400耐磨板回火时的组织转变与正火相比.在相同的硬度下,强度、塑性和韧性均显著高于正火状态。因此,重要构件般均用调质处理。调质还常作为表面强化件的预备热处理




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合金结构钢板50Mn2V/15.20.30.35.42CrMo/20Mn2/40Mn2/20MnSi/20Cr/40Cr/10CrMoAL/20CrMnMo/
12CrMoVNi/30CrMnSiA。
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耐磨板:NM360 NM400 NM450 NM500 NM550 NM600 Mn13 HARDOX400  HARDOX450 HARDOX500 HARDOX550 HARDOX600
耐候板:Q235NH Q295NH Q345NH Q355NH Q295GNH Q345GNH Q355GNH
合金板:Q275 Q295 Q390 Q420 Q460 Q500 Q550 Q620 Q690 Q890 Q960 HG60 HG70 HG785
桥梁板:Q235qc Q235qd Q235qe Q345qc Q345qd Q345qe
高建钢板:Q235GJC Q235GJD Q235GJE Q345GJC Q345GJD Q345GJE
高强度钢板:Q235d Q345c Q345d Q345e Q390b Q390c Q390d Q420b Q420c Q420d Q500b Q500c Q500d Q550b Q550c Q550d Q620b Q620c Q620d Q690b Q690c Q690d
船板:AH32 AH36
汽车钢板:SAPH370 SAPH310 SAPH400 SAPH440 SA516GR70 09MnNiK  BS600MC BS700MC B510L B520 B550 B610  Qste340TM Qste420TM Qste460TM Qste500TM
容器板:6MnDR 16MnNiDR 15CRMOR 07MnNiMoVR 09MnNiDR a572Gr50 q245r q345r
优质碳素结构钢:20Mn 25Mn 30Mn 35Mn 40Mn 45Mn 50Mn 60Mn 65Mn
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